[转载]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

1. 摘要 '^lUL) R  
):}Fu  
亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 ,# iZS&  
49y*xMn  
2. ·建模任务 yr{5Rp05=  
*?b@>_1K  
09x+Tko9;*  
3. 结果 p9w%kM?  
1bDJ}M~]z  
<!hpfTz*  
4. 文件和技术信息 `&G}