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    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
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    [转载]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

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    离线讯技david
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-04-10
    1. 摘要 wH(vX<W-E  
    @??c<]9F  
    亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 _ RT"1"r  
    SSL%$:l@  
    2. ·建模任务 HYI1 o/}  
    g'}`FvADi  
    `:bvuc(  
    3. 结果 5uD#=/oV  
    [MQJ71(3  
    XTi0,e]5{u  
    4. 文件和技术信息 r 0?hX  
     
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