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    [转载]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

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    离线讯技david
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-04-10
    1. 摘要 7Sycy#D  
    *MCkezW7{  
    亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 +=kz".$  
    QcdAg%"yy  
    2. ·建模任务 )Ee`11  
    py/#h$eY  
    c5eimA%`  
    3. 结果 *M~BN}.  
    @Rqn&tA8  
    99Nm?$ g  
    4. 文件和技术信息 :{#w-oC>6P  
     
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