用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统 6.>l
在对复杂光学系统粗装调完成之后,利用自准干涉检验的办法,采集光学系统各视场的干涉图,然后用干涉条纹分析软件算出整个系统波前误差,其量值用泽尼克系数来表示,通过泽尼克系数与系统的波像差的关系,判断要调整的目标值,即当前在光学系统中占主导地位的波前误差,对主导误差优化,得到系统的失调量,由光学设计软件确定其正确后,进行一次精密装调.然后进行多次这样的计算机迭代和优化,直到光学系统达到最好的调整状态.运用此方法来装调大口径,长焦距离轴三反射镜系统,在波长λ等于632.8 nm时,该离轴三反射镜系统中心视场波像差均方根值达到了0.094λ,+1°视场和-1°视场的均方根值分别为0.106λ和0.125λ. &|j^?ro6
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偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调 9yA? 82)E
针对极紫外投影光刻(Extreme Ultraviolet Lithography,简称EUVL)工作波长短的特点及由此带来的一些问题,对EUVL微缩投影物镜的结构参数进行分析选择,设计了离轴照明方式的Schwarzschild微缩投影成像物镜.利用基于奇异值分解的牛顿迭代法对敏感矩阵进行分解,求出相应失调量的大小,以实现系统的精密装调. 8t$w/#'@
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离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法 >i:h dcxe
介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量.利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性,并筛选出补偿器,求出相应失调量的大小.在此基础上进行多次模拟装调,证明各种情况都是收敛的,可以实现精密装调的目的.
