[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  28,g'k!  

Eemk2>iP?  
氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) Y/`*t(/5  
9~6~[z  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 x`Ik747^v  
lk%W2N5  

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  ;sfk@ec  

drEND`,@6|  
鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 ?R\:6x<  
rhvTV(Bz  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 sN9 SuQ  
u|uPvbM  
會依照每個客戶針對的波長去做設計 c&u~M=EW  
UJ1Ecob  
可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 PTFe>~vr*  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 07:N)y,  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 si|DxDx  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 :?.RZKXQF  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 u9:+^F+  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 Eep*,Cnt0  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 R>ak 3Y  
 (2018-02-03 18:13)  uP:Y[$O  

QX'EMyK$  
单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？