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    [求助]高反膜机差问题 [复制链接]

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    离线dcfcwdx
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-01-25
    求助大神,LED芯片背镀DBR高反膜,同样的膜系,不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异,到底是什么造成的??
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-01-29
    DBR是什么意思啊?你做的高反膜是用的啥膜料?
    离线dcfcwdx
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-01-29
    回 奔跑的小骏马 的帖子
    奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊?你做的高反膜是用的啥膜料? (2018-01-29 09:51)  =9M-N?cV  
    JC-L80-  
    氧化硅和氧化钛
    离线rexchou
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-02-01
    有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) ~kL":C>2  
    1JM~Ls%Z  
    若有差異,可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 PHoW|K_e  
    p0/I}n4<5n  
    离线rexchou
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-02-01
    回 奔跑的小骏马 的帖子
    奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊?你做的高反膜是用的啥膜料? (2018-01-29 09:51)  X/@Gx 4  
    ;m\E9ple  
    鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 7JujU.&{6  
    o;"!#Z 1SJ  
    主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 @x)z" )>  
    1 @/+ c  
    會依照每個客戶針對的波長去做設計 > vgqf>)kk  
    |/q*Fg[f  
    可應用在LED 激光 等等
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-02-02
    怀疑是排气能力差异。 ^b&aDm~(7  
    开镀真空一样吗?都开充氧了吗?充氧压力多少?
    离线dcfcwdx
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-02-03
    好的,谢谢~
    离线dcfcwdx
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-02-03
    开镀真空一样,充氧压力为1.93E-2Pa
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-02-03
    如果有空的话,两台机各镀一下单层,然后测一下PEAK比对一下。 o:m:9dn  
    一般SiO2折射率比较稳定,既然有充氧,吸收也不太会有问题。 $YFn$.70\  
    问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 J1g `0XH  
    离线dcfcwdx
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    只看该作者 9楼 发表于: 2018-03-03
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:如果有空的话,两台机各镀一下单层,然后测一下PEAK比对一下。 Dh*Uv,  
    一般SiO2折射率比较稳定,既然有充氧,吸收也不太会有问题。 NffZttN  
    问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 VK5|w:  
     (2018-02-03 18:13)  ]_G!(`Udh  
    "d^hY}Xx  
    单层的PEAK对比过,确实是有差异的,关键是怎样调节折射率和吸收呢?