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    [分享]关于电子枪的一些小知识 [复制链接]

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    离线ouyuu
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-01-23
    趁最近有空,把我手头的一些小知识和大家分享一下。 nc|p)  
    81 sG  
    1,电子枪的知识(电气) '$%l7  
    Z}Ft:7   
    电子枪有两个主要电源:(由两个高压接线柱接进)
    iqQD{SRt{  
    一个给灯丝通上电流,加热灯丝提供热电子;一个给灯丝加上高压,把电子打出去。 b}TS0+TF  
    灯丝电流越高,电子就越多;灯丝电压越高,电子速度越快。 ?2Py_gkf  
    这两个都能提高蒸发速率,但一般说来,我们固定住电压,只调节电流。 2a Q[zK  
    P\rg" 3  
    电子枪的三个副电源:(由低压接线柱接进,一般是六根线) UrEs4R1#  
    偏转电源,是提供一个磁场,使电子枪发射的热电子进行偏转,打到药品上。 vnZC,J `  
    调整XP,YP就是调节的偏转磁场。 I(BQ34q  
    n8ZZ#}Nhg  
    扫描电源,是提供一个磁场,使电子枪发射的热电子不断的在药品上进行扫描, 扫描范围大的光斑就大,扫描范围缩小光斑就小。对应的就是XS和YS。 _.Uh)-yR  
    电子枪的最远的那对磁极棒就是控制Y方向扫描的, 所以拆掉这个磁极棒,Y方向上就没有宽度了,看起来光斑就是一条线。 L>4"(  
    VQ9/Gxdeo  
    电子枪的其他电路 lp%pbx43s  
    电子束打到药品上以后,还会反弹起来。反弹的电子(二次电子)如果不加约束, 就会跑到镜片上去,使镜片带电。 C1 GKLl~  
    一是会吸附小颗粒造成麻点,二是影响离子源水晶片等的工作。 ^yN&ZI3P&  
    所以有些电子枪还会加上一个二次电子抑制器,让二次电子往地面跑。 t=W}SH  
    57']#j#"hj  
    电子枪工作时,如果有药品飞溅进电子枪灯丝附近,会被电子枪灯丝加热蒸发, 导致高压处放电,这个放电过程其实很频繁,所以一般电子枪还有一个灭弧电路。 [j/9neaye  
    如果灭弧电路发生故障了,电子枪就很容易熄火。
    [ 此帖被ouyuu在2018-01-23 21:10重新编辑 ]
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-01-23
    2,电子枪的知识(机械) <FkFs{(t  
    电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。 ]Wlco  
    M\Ye<Tk  
    1,冷却 eiaFaYe\  
    电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。 .~~T\rmI  
    水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。 1JG'%8}#8  
    所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘) ['tY4$L(  
    防止空打的措施有: ^ EQ<SCh  
    1,限制镀膜的最高电流 =|y9UlsD  
    2,限制镀膜的最长时间 nBSYsp{  
    3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……) q\4Xs$APq  
    ag;pN*z  
    2,枪头 kxIF#/8  
    枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。 yEoF4bt  
    这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。 >rmqBDKaQ  
    如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。 >7T'OC  
    比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。 w4{<n /"  
    真货厂家出厂价最低也要7000多。 x}I+Iggi  
    \aUC(K~o\;  
    3,坩埚盘 By",rD- r  
    坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。 WUXx;9>  
    坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。 :g=qz~2Xk  
    定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。 [ =9T*Sp  
    sW'AjI  
    4,挡板 bSi%2Onj  
    挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。 WH@,kH@  
    挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。 Ma']?Rb`  
    铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。 ;~ $'2f~U  
    挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。 /cQueUME`  
    新柯隆一般为1秒。 =M [bnq*\  
    挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好) +YKi,  
    然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。 1POmP&fI(  
    b;W3j   
    5,故障 &P}_bx  
    电子枪原理简单,所以一般故障较少。 }Gm>`cw-  
    多数故障是由于保养不良等原因造成的。 x$.^"l-vX  
    要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。 )9'K($  
    否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良) :tB1D@Cb6  
    底座陶瓷绝缘变差造成故障。 w3obIJm  
    另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化, qJa H ,  
    此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。 kY|utoAP  
    还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候, Zd}9O jz5  
    最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西, %G/ hD  
    太脏了会严重影响寿命及稳定性。
    [ 此帖被ouyuu在2018-01-23 19:40重新编辑 ]
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    rexchou 光币 +5 优秀文章,支持! 2018-02-01
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-01-23
    3,电子枪相关的药品知识 7{e  4c  
    4x=v?g&  
    药品根据折射率分为低折射率(1.38~1.5)中折射率(1.5~1.8)高折射率(1.8以上)三类。 a+[KI  
    药品特性: :KSV4>X[%a  
    MgF2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,易吸水 APn|\  
    SiO2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,不耐碱, !1jBC.G1  
               易失氧变成黑色SiO,镀膜时需要充氧。 Q 04al=  
               绝缘电阻高,所以一旦熔融后无法再次蒸发。 )al]*[lY  
    Al2O3:附着力强,耐水耐酸(塑胶片寿命要求高时,可用来打底) f O}pj:  
    ZrO2:附着力强,易形成不均质 =57>!)  
    TiO2:硬度高,折射率易变 :;RMo2Tl  
    SB;&GHq"n  
    一般颗粒药材,除SiO2外镀膜前都需要溶药, 4M=]wR;  
    目的是为了将颗粒缝隙中的空气和杂质气体(如H2O)排出,以免镀膜中发生溅料。 Avge eJi  
    )!th7sH  
    各药品蒸发条件如下: |{z:IQLv  
    药品 p,EQ#Ik  
    蒸発源電流(mA)扫描(XS/YS)速率 "(3[+W{|  
    MgF230~6070/708~12
    SiO2顆粒120~17070/7010~12
    SiO2环形150~20040/7010~12
    Al2O3340~38020/205~7
    SiO30~60顆:70 固:406~10
    ZrO2280~3500~305~7
    Ta2O5(IAD)350~40020/203~4
    TiO2350~400 0~103~5
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    rexchou 光币 +5 优秀文章,支持! 2018-02-01
    离线zx19921216
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-01-29
    学习了,
    离线rexchou
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-02-01
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:3,电子枪相关的药品知识
    药品根据折射率分为低折射率(1.38~1.5)中折射率(1.5~1.8)高折射率(1.8以上)三类。 JT~4mT  
    药品特性:  C;v.S5x  
    MgF2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,易吸水 xnjf  
    ....... (2018-01-23 21:34)  ufj,T7g^  
    #j;^\rSv-  
    請問O大   環型坩鍋轉速建議用多少
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-02-02
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:請問O大   環型坩鍋轉速建議用多少 (2018-02-01 14:10)  2F;y;l%  
    JBj]najN  
    0.02转每分
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    rexchou 光币 +1 热心助人,鼓励! 2018-02-02
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-02-11
    电子枪,是做电子显微镜的?
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-02-24
    回 祝家莹 的帖子
    祝家莹:电子枪,是做电子显微镜的? (2018-02-11 14:26)  P:S.~Jq  
    hFUlNJ  
    镀膜机的好不。
    离线光迹
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-05-23
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:3,电子枪相关的药品知识
    药品根据折射率分为低折射率(1.38~1.5)中折射率(1.5~1.8)高折射率(1.8以上)三类。 /}Axf"OE  
    药品特性: Rv>-4@fMJ  
    MgF2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,易吸水 =XQ%t @z0  
    ....... (2018-01-23 21:34)  KF}hV9IU  
    {YC@T(  
    很好的资料
    离线光迹
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    只看该作者 9楼 发表于: 2018-05-23
    回 光迹 的帖子
    光迹:很好的资料 (2018-05-23 13:47)  p2](_}PK  
    fr3d  
    感谢感谢