2,电子枪的知识(机械)
>IA1 \?( 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
zwP*7u$CH \q24E3zS& 1,冷却
fA[T5<66 电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。
4cJ/XgX 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
Ge=\IAj 所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘)
q|IU+r:! 3 防止空打的措施有:
hstGe>f[6 1,限制镀膜的最高电流
~ahu{A4Bw 2,限制镀膜的最长时间
V`YmGo 3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……)
N pQOLX/<? Z@$'fX?~9 2,枪头
e 0Z2B2 枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。
&Fjyi"8(r 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
%|f@WxNrU 如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。
$BB^xJ\O 比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。
cS@p`A7Tpo 真货厂家出厂价最低也要7000多。
[9Tnp]q MBU4Awj 3,坩埚盘
fD8GAav 坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
$?VYHkX 坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。
U2~|AkL 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
[ :Sl~ ]gF=I5jn] 4,挡板
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"zu` 挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。
/ T_v8{D 挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。
9y} J|z 铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。
:b_hF 挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。
}*aj& 新柯隆一般为1秒。
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挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好)
i~M-V=Zg 然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。
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c 5,故障
w_LkS/ 电子枪原理简单,所以一般故障较少。
U7,.L 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
=KD[#au6a 要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。
iU=:YPE+. 否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良)
LfCgvq6/pO 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
:6m"}8*q8 另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化,
/len8FRf 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
b.}J'?yLm 还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候,
yZNg[KH 最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西,
L}_VT
J 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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