膜系设计,最初得到的就是光学膜厚。 wD pL9 q
然后软件再根据折射率,算出物理(水晶)膜厚。 DT]3q4__Q
但是实际上折射率不是恒定的(特别是不同材料的交界处) UPuG&A#VV
所以我们在镀膜机输入的物理(水晶)膜厚,和设计软件算出的膜厚还不一样,需要进行调整。 FePWr7Ze
特别是那种材料层数比较多的膜系,开始几层如果跑偏一点的话,后面就会差上很多。 @G>&Gu;5
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但是光控控制的就是光学膜厚,所以基本上和软件算出的膜厚是一样的。 2DBFY1[Pk
光控的问题是精度没有晶控好,所以在薄层上无法用到光控。 ]A_A4=[w
所以AR膜最好不要用光控。