[求助]关于镀膜机蒸镀的问题 [复制链接]

今天弄新镀膜机(8kw)，第一次蒸镀，工艺参数是按照老镀膜机（6KW）设定的，工艺菜单里功率设低百分之5 1X ?9Ji)h  
在蒸镀预溶的时候，屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围，并且提示是最小功率，我看坩埚里的药都飞溅了，粒子数最高的时候是400多，沉积的时候是正常的。 GlVb|O"  
这种情况怎样解决，有懂的前辈指导下吗？ Gp l  
我也是个刚毕业的小白

用的药是MGF2和H4

速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。

1.是电子枪还是阻蒸？ =.Hq]l6+  
2.预熔怎么会有最大速率？ p-S&Wq  
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ Rn4Bl8z'>  

1电子枪 Y;uQq-CP  
2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的，预溶的时候不是有曲线吗，那个速率  L#>^R   
3最小功率是溶MGF2，设的15

贾松山:1.是电子枪还是阻蒸？ ejh0Wfl  
2.预熔怎么会有最大速率？ 5D6 ,B  
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ 1a]QNl_x  
 (2017-12-25 08:44)  ]rS:#LK  

A81'ca/  
回复错地方了 看4楼

ouyuu:速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。 (2017-12-25 00:36)  dy]ZS<Hz8G  

zy`T! $  
下次 我试一试

让预熔爬升的时间长点

gaofei5588:让预熔爬升的时间长点 (2017-12-26 14:58)  Q*M(d\Vs  

29CzG0?B  
这个时间在哪里设置呀

学习使我快乐:这个时间在哪里设置呀 (2017-12-26 19:46)  +egwZ$5I  

x.wDA3ys  
你用的啥机器