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关于镀膜机蒸镀的问题
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关于镀膜机蒸镀的问题
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学习使我快乐
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发表于: 2017-12-24
今天弄新
镀膜
机(8kw),第一次蒸镀,
工艺
参数
是按照老镀膜机(6KW)设定的,工艺菜单里
功率
设低百分之5
f*Kipgp
在蒸镀预溶的时候,屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围,并且提示是最小功率,我看坩埚里的药都飞溅了,粒子数最高的时候是400多,沉积的时候是正常的。
[f'7/w+
这种情况怎样解决,有懂的前辈指导下吗?
<^=k~7m
我也是个刚毕业的小白
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学习使我快乐
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1楼
发表于: 2017-12-24
用的药是MGF2和H4
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ouyuu
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2楼
发表于: 2017-12-25
速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。
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贾松山
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3楼
发表于: 2017-12-25
1.是电子枪还是阻蒸?
=~R0U
2.预熔怎么会有最大速率?
a1?Y7(alPU
3.最小功率是对应什么材料的?功率多少?
;$W|FpR2
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学习使我快乐
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4楼
发表于: 2017-12-25
1电子枪
zg)]:
2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的,预溶的时候不是有曲线吗,那个速率
: G<