[求助]关于镀膜机蒸镀的问题 [复制链接]

今天弄新镀膜机(8kw)，第一次蒸镀，工艺参数是按照老镀膜机（6KW）设定的，工艺菜单里功率设低百分之5 QOd!]*W`?m  
在蒸镀预溶的时候，屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围，并且提示是最小功率，我看坩埚里的药都飞溅了，粒子数最高的时候是400多，沉积的时候是正常的。 w\p9J0  
这种情况怎样解决，有懂的前辈指导下吗？ <vL}l:r  
我也是个刚毕业的小白

用的药是MGF2和H4

速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。

1.是电子枪还是阻蒸？ aTG[=)xL  
2.预熔怎么会有最大速率？ #>XeR>T  
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ R2CQXhiJ  

1电子枪 e62y  
2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的，预溶的时候不是有曲线吗，那个速率 qF'~F`6  
3最小功率是溶MGF2，设的15

贾松山:1.是电子枪还是阻蒸？ vhpvO>Q  
2.预熔怎么会有最大速率？ e#khl9j*bt  
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ B2(,~^39  
 (2017-12-25 08:44)  r0{]5JZt/  

!oGQ8 e  
回复错地方了 看4楼

ouyuu:速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。 (2017-12-25 00:36)  pBU]=[M0  

}NwN2xTB  
下次 我试一试

让预熔爬升的时间长点

gaofei5588:让预熔爬升的时间长点 (2017-12-26 14:58)  Mr.JLW  

PGY9*0n  
这个时间在哪里设置呀

学习使我快乐:这个时间在哪里设置呀 (2017-12-26 19:46)  !%wdn33"  

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0SBKC  
你用的啥机器