[求助]关于镀膜机蒸镀的问题 [复制链接]

今天弄新镀膜机(8kw)，第一次蒸镀，工艺参数是按照老镀膜机（6KW）设定的，工艺菜单里功率设低百分之5 6?';ip  
在蒸镀预溶的时候，屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围，并且提示是最小功率，我看坩埚里的药都飞溅了，粒子数最高的时候是400多，沉积的时候是正常的。  c`}YL4  
这种情况怎样解决，有懂的前辈指导下吗？ 
z $iI  
我也是个刚毕业的小白

用的药是MGF2和H4

速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。

1.是电子枪还是阻蒸？ #&Zj6en}M]  
2.预熔怎么会有最大速率？ !Xzy
:  
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ qSQsY:]j0  

1电子枪 F"a31`L>H  
2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的，预溶的时候不是有曲线吗，那个速率 rlkg.e6  
3最小功率是溶MGF2，设的15

贾松山:1.是电子枪还是阻蒸？ GHo=)NTjy  
2.预熔怎么会有最大速率？ 6GtXM3qtS  
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ oyY0!w,Y  
 (2017-12-25 08:44)  mu =H&JC  

b<mxf\b  
回复错地方了 看4楼

ouyuu:速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。 (2017-12-25 00:36)  D{aN_0mT  

N+9`'n^x  
下次 我试一试

让预熔爬升的时间长点

gaofei5588:让预熔爬升的时间长点 (2017-12-26 14:58)  8oG0tX3i  

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这个时间在哪里设置呀

学习使我快乐:这个时间在哪里设置呀 (2017-12-26 19:46)  M ()&GlNs  

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E2!  
你用的啥机器