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    [下载]《石英晶体监控膜厚仪的发展与应用》 [复制链接]

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    离线ponydonews
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2006-11-17
    提要：石英晶体振荡监控光学薄膜厚度是直接监控光学薄膜物理厚度的方法，与T作波段无关，设置简单，各种厚度皆可控制．易于实现自动控制，将会越来越广泛地应用在光学薄膜厚度监控中。本文首先介绍了石英晶体监控膜厚仪监控光学薄膜厚度的原理，然后讨论了石英晶体监控仪的发展和晶振片的稳定性。 @}s EP&$  
    W^pf 1I8[  
    关键词：石英晶体振荡法 薄膜厚度 原理
    描述:石英晶体监控膜厚仪的发展与应用
    附件: 石英晶体监控膜厚仪的发展与应用.pdf (225 K) 下载次数:148
    共1条评分
    cyqdesign 金钱 +3 - 2006-11-17
     
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    离线flyinlove79
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2006-11-19
    这个东西也不错的，支持楼主了
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    离线liuzh05
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    只看该作者 2楼 发表于: 2006-12-16
    不错！收下了，多谢！
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    离线seraphic
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    只看该作者 3楼 发表于: 2006-12-16
    正在找这个，谢谢搂主了
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    离线timyang
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    只看该作者 4楼 发表于: 2007-01-02
    谢谢，最近正在使用，还不是很了解。
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    离线心灵元素
    实习生
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    只看该作者 5楼 发表于: 2007-01-03
    正在找这个，谢谢搂主了
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    离线cityowl
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    只看该作者 6楼 发表于: 2007-01-25
    用石英晶体监控膜厚仪真是太方便了，谢谢楼主分享。
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    离线zhaoshl
    实习生
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    只看该作者 7楼 发表于: 2007-02-12
    好文章，谢谢共享，不过石英膜厚控制还算是间接控制
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    离线zuiyuan
    实习生
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    只看该作者 8楼 发表于: 2007-03-13
    呵呵,我们正准备用呢
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    离线sunm
    技术员
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    只看该作者 9楼 发表于: 2009-04-05
    多谢了！！
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