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均匀化的概念 yw];P
o, Ym3\pRFiD VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： e ek7=Z • 微透镜阵列 ;4Y%PV z~D • 衍射扩散器 Z& ;uh_EC • 计算机生成的全息图 :Nofp& • 相位板 x) ( |[ • 单元阵列 u ~A6bK*
y;s`P . 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 ty8v
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光学仿真和设计包括: H$y-8-&) • 衍射 ]]zPq<b2 • 干涉 Na:w ]r:y • 空间和时间相干度 o!)3 ? • 像差 [VE 8V- • 偏振 +E{|63~q • 光强 I:mr}mv=i
Hy^N!rBxfO 应用 PYGRsrcFd#
euC &0Ee2 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： y&V@^ "` • 信息显示 =3L;Z[^ 9 • 测量系统 ]*AR,0N& • 室内照明 V#iPj'*
• 汽车 p6;OL @ \~ • 军事 r-Pkfy( • 光刻 EM[WK+9>I{
/Njd[= B 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 [PDNwh0g5 优点Benefits )c)vTZy
9b9$GyI 微光学元件的照明系统有以下几大优点： XCBL}pNkR • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. , GP?amh • 产生任意的二维图案. ~{jcH • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. CLUW!F • 非常紧凑的照明系统. Eea*s' 
K~R`%r_ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
^zQ/mo, Z
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： dZ0A3(t
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. E&[{4Ml
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. =`H@%
• 可以产生一般的二维图案. 7 t0e r'VC
• 单色光和白光的整形. oU.R2\Q
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. E?
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衍射扩散器 HK2 []G
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： 1=d6NX)B
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. +l<5#pazx
• 生成任意的二维图案. ^f4s"T
• 仅用于单色LED或准分子激光. k@k&}N0{
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 8|l\E VV6
单元阵列 paCV!tP
P*3BB>FO
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： 3
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• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. qKr8)}h
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. CTq&-l:f
• 产生任意的二维图案. B#Vz#y
• 用于单色光和白光. l~ w2B>i)
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 jt W!"TOY
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