1.摘要
*;V2_fWJ@ x _YV{ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
{!:|.!-u NoSqzJyh ~0Q\Lp); Z]1z*dv 2. 建模任务
VygXhh^7\ wAj(v6 !Ed<xG/ iYmzk?U 3. 干涉条纹的变化
{U+9,6.` ?()E5 4y KY(l<pm gzJ{Gau{) 4. 走进VirtualLab Fusion
;{F;e)${M cE_Xo.:Y, 4p/V6kr&r }X W#?l 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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aF4V|?+ 6. VirtualLab Fusion 技术
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