摘要 ]gd/}m)1 6!7Pm>ml 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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) 建模任务 sB*o)8 9k2,3It 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
6nw&$I Etnb3<^[t 焦点区域的探测场 M23&<}Q8 [Z}B" a>Re^GT+z 测试对象的直接反射 z&'f/w8 !;}2F- J1 tDO? 测试对象的直接反射 {/UhUG V,4.$<e Kmry=`=A 测试对象的像 #vnT&FN0[ W%8+t) [yd6gH 测试对象的像 &6"P7X &:vscOl 5RhF+p4 功率测量与测试对象的横向偏移 Xem| o&