摘要
PomX@N}1 ~7!J/LHg 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
b\%=mN g]V}azLr @$~ BU;kR FhZ&^.: 建模任务
MO:##C ,XW6W&vR; 0:**uion 仿真干涉条纹
(9BjZ&ej ^)b*"o p1HU2APFP 走进VirtualLab Fusion
3R?7&oXvH }}?L'Vby -uiZp ! aI|<t^X VirtualLab Fusion中的工作流程
IC9:&C[ JBa=R^k •设置输入场
M"K$81 −
基本光源模型[教程视频]
} VE[W •使用导入的数据自定义表面轮廓
%#NaM\=8v •定义元件的位置和方向
,SJB3if −
LPD II:位置和方向[教程视频]
~\K+)(\SNp •正确设置通道以进行非
序列追迹
!cLX1S −
非序列追迹的通道设置[用例]
f3-=?Z •使用
参数运行检查影响/变化
Z\xR+3 −
参数运行文档的使用[用例]
TeQWrms TD,W *(b ?N#mD ]?^m;~MQZ VirtualLab Fusion技术
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