[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 YrR}55V,  
04wmN  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 =kspHP<k  
;?9u#FRtw  

图片:1-191209152110491.png

>_y>["u6J#  
N*Owfr1N  
建模任务 P==rY5+s`  
UUx0#D/U0C  
dfo{ B/+  
仿真干涉条纹 !
=.5$/  
\7}X^]UVx  
LV&tu7c  
走进VirtualLab Fusion c4R6E~S  
P
v`^#BX'  

图片:1-191209152K5539.png

`bGAc&,&  
Ve&
(izIh  
VirtualLab Fusion中的工作流程 o(. PxcD  
:/9@p  
•设置输入场 nJYcC"f  
−基本光源模型[教程视频] J}coWjw`q  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 @Zs}8YhC  
•定义元件的位置和方向 kg$<^:uX  
− LPD II：位置和方向[教程视频] t`DoTb4  
•正确设置通道以进行非序列追迹 ^z$
-NSlI  
−非序列追迹的通道设置[用例] eA>O<Z1>  
•使用参数运行检查影响/变化 i%M2(8&^Q  
−参数运行文档的使用[用例]
Rp)82- .  
\)ac,i@fy  

图片:1-191209152Tb56.png

ejwFQ'wTx  
gUCv#:  
VirtualLab Fusion技术 G1Cn[F;e  
;b$(T5