摘要
v5#jZ$<F + T1pJ 89P 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在
VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。
qZtzO2Mt x.!V^HQSN {0wIR_dGX O|{d[eX 建模任务
4K#>f4(U`g 5h=}j .+3g*Dv{& q]ku5A\y structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
Cazocq5 :Uzm
系统建模块
@]%IK(| RUnSC OdX ;~)5s' WYm\)@ 特定位置的Talbot图案
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HT694Uz eCDev} >=I|xY, 特定位置的Talbot图案
_ @NL;w:! 7Jyy z,!5 +s,=lL 不同位置的Talbot图案
jUYWrYJ 'j8:vq^d # Yj 1w }_M~2L?i 不同位置的Talbot图案
y*jp79G /!yU!`bY 8yR.uMI$/ `!;_ho 沿 Z 轴的强度
/ |;RV" abmYA# _/s$ZCd ~zJbK. _ VirtualLab Fusion技术
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