芯物科技“一种超透镜、光学传感器及其制备方法”专利公布
提供一种超透镜、光学传感器及其制备方法，涉及半导体技术领域，超透镜的制备方法步骤均采用较低的温度条件，从而能够直接在透明衬底上生长超透镜结构。
 国家知识产权局信息显示，上海芯物科技有限公司申请一项名为“一种超透镜、光学传感器及其制备方法法”的专利，公开号CN118625424A，申请日期为2024年6月。 专利摘要显示，本申请提供一种超透镜、光学传感器及其制备方法，涉及半导体技术领域，超透镜的制备方法步骤均采用较低的温度条件，从而能够直接在透明衬底上生长超透镜结构且在整个制备过程中不使如玻璃材料制备的透明衬底发生变形现象，这样的制备方法能够减少工艺流程，降低制备成本的同时，具有较高的制备良率。  |
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