一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法
本发明公开了一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法,包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块;泵浦激光光源出射的连续激光通过斩波器调制后经过透镜镜组聚焦照射到样品表面。
据国家知识产权局公告,浙江大学、杭州利珀科技有限公司取得一项名为“一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法”,授权公告号CN118010318B,申请日期为2024年2月。 专利摘要显示,本发明公开了一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法,包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块;泵浦激光光源出射的连续激光通过斩波器调制后经过透镜镜组聚焦照射到样品表面;探测激光光源出射的连续光源经过透镜镜组照射到泵浦光聚焦点同一区域内且完全覆盖泵浦聚焦光斑,经过光学元件反射并通过滤光片及针孔后由光电探测器接收;接收到的信号通过锁相放大器提取后发送给计算机进行处理;光谱共焦位移传感器返回实时位置,通过算法搭配俯仰偏摆位移台自动调平待测光学元件,三轴位移台调整扫描对焦位置,扫描后最终生成整个光学元件的吸收率分布图像。利用本发明,可以实现对大口径光学元件光热特性的有效准确检测。 |
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