中科飞测“一种光学系统”专利公布
本申请公开了一种光学系统,光学系统包括照明光路和成像光路,照明光路用于对待检测物投射照明光束,成像光路用于对待检测物产生的检测光束进行成像以形成检测图像
国家知识产权局公告,中科飞测新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种光学系统”,专利申请号为CN202321168873.4,申请日为2023-05-15。 专利摘要:本申请公开了一种光学系统,光学系统包括照明光路和成像光路,照明光路用于对待检测物投射照明光束,成像光路用于对待检测物产生的检测光束进行成像以形成检测图像;照明光路包括在光路上依次设置的光源、匀光元件和偏振元件;匀光元件用于对光源发出的照明光束进行匀光;偏振元件用于滤除匀光后的光束在非偏振方向上的光分量;偏振元件的偏振方向垂直于光轴,且偏振方向在光轴垂面内的指向与检测图像的背景灰度分布有关;照明光路被用于提供照明功能时,偏振元件的偏振方向固定不变且被配置为将检测图像的背景灰度分布稳定在预设状态。避免图像灰度分布发生波动,能够提高照明光路的光束稳定性,提高成像质量,提高对待测物表面检测的准确性。 |
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