2024第三届微纳制造技术高级培训班（苏州大学站）

新年伊始，新的光学技能培训攻略已为您备好奉上。

在前两届的基础之上，第三届光学加工高级培训班将更加注重案例的实践应用，增加实验室参观考察环节，坚持现场有问必答、有疑必解，争取切实有效的为大家解决实际工作中的问题，努力做到来即有得、学可致用。

2024年，第三届光学加工与工艺高级培训班计划于4月14日-19日开班，第三届微纳制造技术高级培训班计划于4月21日-26日开班，诚邀光学界人士莅临交流。 

一、基本概况

培训名称：第三届微纳制造技术高级培训班

培训时间：2024年4月21日-26日（21日报到）

培训地点：苏州大学（天赐庄本部）

培训方式：线下授课，现场答疑

主办单位：中国激光杂志社、苏州大学、意桐光电（光电汇）

二、授课专家（按姓氏音序排列，排名不分先后）

陈林森，研究员，苏州大学

苏州大学光电科学与工程学院，研究员/博导。2001年创立苏州苏大维格光电科技股份有限公司并担任董事长，从事微纳光学与柔性制造研发、生产与销售，公司于2012年深交所A股创业板上市。相关专利对微纳柔性制造领域的核心技术方法和功能材料设计与制造提供了框架性的布局，涉及微纳制造基础方法、新型微纳直写光刻装置、柔性纳米加工系统、新颖微纳柔性光电材料与方法、衍射光变印刷材料、纳米AR增强现实和3D图像与显示等领域。获中国专利奖（4项，其中2项为第一发明人），江苏省优秀专利金奖1项，国家科技进步二等奖（3项，主持人），江苏省科学技术一等奖（4项，主持人）和首届江苏省企业技术创新奖、教育部优秀科技成果技术发明二等奖等奖项。

程亚，研究员，上海光机所

华东师范大学教授、物理与电子科学学院院长，上海光机所研究员。从事超快非线性光学与激光微纳制造研究，发表论文200余篇，引用万余次，当前H因子55。应邀作国际学术会议大会报告和邀请报告100余次，长期担任CLEO, CLEO-Euro, CLEO-PR, Photonics West等主流会议节目委员会成员。获得国家杰出青年科学基金资助，先后担任国家973计划项目、重点研发计划项目首席科学家。出版中文专著1本，独著及合编著英文专著5本。为美国光学学会会士、英国物理学会会士。

浦东林，研究员，苏州大学

苏州大学光电科学与技术学院，研究员，苏州苏大维格科技集团股份有限公司仪器装备事业部总经理，全国半导体设备与材料标准化技术委员会/微光刻分技术委员会委员。从事激光直写光刻系统的研发和应用研究工作，项目经历有国家重点科技攻关计划、国家“863”计划、国家重大仪器专项、江苏省攻关项目等，获江苏省科学技术一等奖1项（2011）、二等奖1项（2015）、国家科技进步二等奖2项（2011、2019）。

乔文，教授，苏州大学

苏州大学光电科学与工程学院，教授/博导。2013年毕业于美国加州大学圣迭戈分校，获工学博士学位。2014年加入苏州大学，主要从事微纳光学、微纳制造、微纳传感技术等研究。先后主持中国国家自然科学基金项目2项，全军共用信息系统预研（基础类项目）项目1项，江苏省前沿引领技术基础研究专项课题1项，主持项目经费总额超过1000万元。已发表论文30余篇，其中包括《Advanced Material》、《Lab on aChip》、《Journal of Materials Chemistry C》、《Optics Express》、《Applied PhysicsLetters》等国际知名学术期刊。多次在国际国内会议上作邀请报告。先后参与撰写专业书籍章节4篇，申请中国发明专利近50项，授权中国发明专利8项。

苏旭军，研究员，苏州纳米所

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，研究员。2013年于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所获得材料物理与化学的博士学位，之后继续从事博士后研究，2017年留所工作。自2013年起，一直聚焦于电子显微技术及其在半导体材料缺陷与器件微结构表征的研究，擅长宽禁带半导体材料缺陷表征与器件失效分析工作，在APL、JCG等国际学术期刊发表相关论文20多篇，国际会议邀请报告1次。先后获得2014年度和2017年度中科院苏州纳米所“先进工作者”，2018年度苏州市“青年岗位能手”和2021年度江苏省“青年岗位能手”等荣誉称号。

王敏锐，研究员，西交大苏研院

历任江苏省微纳制造创新中心（培育）主任，中科院苏州纳米所研究员、入选中国科学院“现有关键技术人才”。中国微米纳米技术学会理事、中国机械工程学会微纳制造分会常务委员、智能传感器创新联盟副理事长、中国半导体协会MEMS分会副秘书长。主要从事MEMS与III-V族半导体器件集成技术、微纳光学、MEMS压力芯片及器件、压电声学及特种功能材料制备等的研究。作为项目负责人，主持国家重大科学仪器设备开发专项、国家自然科学基金江苏省重大成果转化项目、江苏省工业支撑重点计划项目等10多项。在微米纳米结构蓝宝石图形化衬底的低成本、大面积可控制造及其评价、大功率散热技术、热电堆芯片、MEMS压力芯片、MEMS压电器件及功能薄膜材料制备等方面取得了多项创新性的研究成果。先后成功建设完成了填补国内空白的大型微纳制造开放式共享研发平台和6英寸自动化MEMS中试平台。申请国家发明专利16项。发表学术论文20余篇，单篇最高他引100多次。

王钦华，教授，苏州大学

苏州大学光电科学与工程学院，教授/博导，教育部、江苏省现代光学技术重点实验室，江苏省先进光学制造技术高科技重点实验室主任。获江苏省六大人才高峰计划，江苏省333人才工程和苏州市紧缺高层次人才项目资助。1996年起的近十年时间内先后在香港大学，加拿大多伦多大学，加拿大麦吉尔大学及加拿大光子器件高科技公司等单位长期从事有关应用光学和光子技术的前沿技术研究和高科技产品研发工作。曾荣获加拿大国家科学和工程研究委员会（NSERC）的博士后基金。2006年起被苏州大学聘为特聘教授。主要研究领域为微结构光子器件，激光技术与应用及光学检测技术。主要从事微结构光学器件设计与制造，光纤元件，激光光热等方面的研究及其在光电显示、光通讯，光成像、传感和无损检测方面的应用。多年来主持承担了多项国家重大专项（课题）、863项目、国家自然科学基金以及省、市高科技计划项目。担任多家国际光学和物理杂志审稿人，国家科学技术奖、国家重大专项、自然科学基金等评审专家。在国际会议上做邀请报告/担任分会场主席20余次。近年来共发表国际杂志论文150余篇，获美国专利授权2项，中国发明专利授权近30余项。

吴建宏，研究员，苏州大学

苏州大学光电科学与工程学院，研究员/博导。主持多项国家重大科技重大专项课题，研制米级口径光栅全息掩模，并为国家强激光系统提供大口径脉冲压缩光栅和取样光栅。建立国内唯一具有米级口径光栅掩模研制能力实验室，研制的大口径光栅已成功应用于国家重大科学装置。曾获国家科技进步二等奖，江苏省科技进步一等奖、三等奖，军队科技进步一等奖、解放军科技进步二等奖。

徐科，研究员，苏州纳米所

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿真研究所，副所长，研究员/博导，江苏省第三代半导体研究院院长。主要研究方向为氮化物半导体材料与器件，1994年以来一直从事氮化物半导体材料生长研究，近十年重点开展氮化镓、氮化铝单晶材料的生长和物性研究，研制成功2英寸GaN单晶衬底并产业化，并完成4英寸氮化镓单晶的关键技术研发，实现了中试。发表SCI论文100余篇，申请专利50余项，国际专利3项，在ICNS、IWN、APWS、ISGN等化合物半导体重要国际会议上特邀报告10余次。曾荣获2010年“求是杰出青年奖”、2011年苏州市长奖、2012年全国产学研合作创新成果奖，2013年获得国家杰出青年基金资助，2014年入选科技部中青年科技领军人才，国家自然科学基金委信息学部十二五优秀成果。曾任十二五科技部 “863”计划新材料领域专家，现任科技部战略新型电子材料专题组专家、第三代半导体专家组副组长。中国电子学会高级会员、电子材料分会副主任委员，中国光学学会光学材料委员会副主任委员。

（邀请专家名录持续更新中）

三、授课内容

本课程体系内容可分为微纳光学基础知识、微纳制造工艺、微纳器件集成三个部分，是知识体系完善的微纳前沿系统课程。

（一）微纳光学与柔性制造——陈林森，研究员，苏州大学

1.打造新引擎：光子产业呼唤变革性技术

2.数字化光刻系统与算法

3.纳米压印技术与光场重构

4.赋能颠覆性创新与前沿研究

5.应用成效与影响、结论与展望

（二）纳米光子学基础与应用——王钦华，教授，苏州大学

1.纳米光子学基础与进展

2.显示技术/结构色与纳米结构

3.高/超分辨率平面成像技术

4.超材料（metamaterials）与光场（电磁波）调控

5.柔性光电子与可穿戴器件

6.纳米制造与超衍射极限光刻技术

7.纳米光子技术的机遇与挑战

（三）III族氮化物半导体材料及其在光电领域的应用进展——徐科，研究员，苏州纳米所

1.光电材料及III族氮化物的基本性质

2.III族氮化物半导体材料的应用进展

3.氮化镓材料的生长制备技术

4.第三代半导体在苏州的发展现状

5.总结与展望

（四）微纳结构分析和表征——苏旭军，研究员，中科院苏州纳米所

1.电子光学基础理论

2.电磁透镜与阿贝成像原理

3.波动光学基础

4.波动力学基础

5.FIB和TEM技术及其在半导体分析中的应用

6.透射电子显微术（S/TEM）及其应用

7.聚焦离子束（FIB)双束电镜及其应用

8.S/TEM-FIB在半导体材料、器件及失效分析中应用

（五）光刻技术与应用——浦东林，研究员，苏州大学

1.微纳制造技术概况与光刻

2.激光直写光刻技术及本学院成果

3.直写光刻的应用与本学院成果

4.直写光刻技术发展与应用展望

（六）3D显示及关键技术——乔文，教授，苏州大学

1.近眼3D显示技术

2.VR近眼显示

3.AR近眼显示

4.远屏3D显示技术

5.眼镜式

6.裸眼3D显示

7.体三维显示

8.全息显示

9.纳米光场光刻、激光直写、微纳3D打印在3D显示中的解决方案

10.衍射波导HUD的研究与探讨

（七）MEMS器件及微纳制造技术——王敏锐，研究员，西交大苏研院

1.光刻加工技术

2.薄膜沉积加工技术

3.刻蚀加工技术

4.封装前段加工技术

 （八）超快激光微纳制备——程亚，研究员，上海光机所

1.飞秒激光微纳加工原理

2.飞秒激光加工涉及的光束整形

3.铌酸锂光子芯片加工

4.微化工反应芯片加工

5.精密打孔加工技术

6.小结与致谢

 （九）衍射光栅设计与制造——吴建宏，研究员，苏州大学

1.衍射光栅及其理论

2.体全息衍射光学元件

3.表面浮雕光栅

4.强激光系统光栅

（授课内容持续更新中）

四、课程费用

培训费用：5000元/人。3月25日前完成注册且成功缴费：4500元/人(需上传缴费凭证至注册系统)。3月25日以后缴费、现场缴费均将恢复至原价。

注：多人组团报名，另有更多优惠；培训期间差旅费、食宿费需自理。

五、报名咨询

报名方式：微纳班请关注微信公众号【苏州大学继续教育】注册，点击查看培训报名指南 ；或联系工作人员填写回执表。

联系人：邱先生 187 1717 7561（同微信） 谢老师188 6217 1655（同微信）

邮箱：anxie@suda.edu.cn