一种制造光学器件的新方法：更接近设计规格
研究人员使用机器学习构建了一个模拟特定光刻制造过程的数字模拟器。利用从光刻系统收集的真实数据，因此可以更准确地模拟系统如何制造设计。
 双模拟器 数字光刻模拟器由两个独立的组件组成：一个光学模型，用于捕捉光如何投射到器件表面，以及一个抗蚀剂模型，用于显示光化学反应如何发生以在表面上产生特征。 在下游任务中，他们将这个学习过的光刻模拟器连接到基于物理的模拟器上，该模拟器可以预测所制造的设备将如何执行该任务，例如衍射透镜将如何衍射照射它的光线。 用户指定他们希望设备实现的结果。然后，这两个模拟器在更大的框架内协同工作，向用户展示如何进行设计以达到这些性能目标。 Cheng Zheng补充道：“有了我们的模拟器，制造的物体可以在下游任务中获得尽可能好的性能，比如计算相机，这是一种很有前途的技术，可以使未来的相机小型化和更强大。我们表明，即使你使用后校准来尝试获得更好的结果，它仍然不如我们的光刻模型处于循环中。”  他们通过制造一个全息元件来测试这种技术，当光线照射到该元件上时，该元件会产生蝴蝶图像。与使用其他技术设计的设备相比，他们的全息元件产生了一个近乎完美的蝴蝶，与设计更接近。他们还制作了一个多级衍射透镜，其图像质量优于其他设备。 未来，研究人员希望改进他们的算法，以模拟更复杂的设备，并使用消费级相机测试该系统。此外，他们希望扩展他们的方法，使其可以与不同类型的光刻系统一起使用，例如使用深紫外光或极紫外光的系统。 相关链接：https://phys.org/news/2023-12-method-fabricate-optical-devices-specifications.html |
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