研究人员成功制造出直径近30厘米的光学超表面
研究人员现在首次成功地使用电子束光刻技术生产出直径近30厘米的超表面，这是一项世界纪录。
 高精度、高效率的高分辨率结构 但是研究人员是如何实现这一里程碑的呢？答案是：借助电子束光刻技术。Fraunhofer IOF研究员兼该研究所科学理事会成员Uwe Zeitner教授解释说：“为了产生我们的超表面，我们使用了电子束光刻的特殊书写策略，称为字符投影。字符投影是一种将图案划分为较小单元的方法。然后使用电子束在表面上依次创建这些小图案中的每一个。这使得以高精度和高效率制造复杂结构成为可能。” Zeitner继续说道：“使用字符投影，可以以相对较高的速度并行曝光非常高分辨率的结构。这对于电子束光刻来说是不寻常的“。Zeitner教授与他的弗劳恩霍夫同事Michael Banasch博士和Marcus Trost博士一起概述了电子束光刻在大面积上制造微光学和纳米光学器件的潜力。 作者表明，传统的平版印刷技术经常达到制造较大结构的极限。研究人员说：“由于波长以下的结构尺寸很小，高分辨率电子束光刻原则上非常适合制造元结构。” Uwe Zeitner表示：“然而，这项技术相对较慢。到目前为止，基本上只有面积相对较小的元素被它实现，主要是几平方毫米的数量级。对于较大的区域，曝光时间很快就会达到不切实际的大值。通过使用字符投影，科学家们现在能够解决电子束光刻的高分辨率和大元素区域的问题，而不会使曝光时间爆炸”。因此，该论文的作者表明，电子束光刻可以成为一种在大面积上制造微米和纳米光学结构的技术。 减小尺寸，同时增加功能 新的制造技术可以帮助构建未来明显更薄的光学系统。Falk Eilenberger说：“这项技术可以彻底改变成像光学系统，因为它将有可能减小系统的尺寸，同时增加其光学功能。” Uwe Zeitner补充说：“这种大的超表面对于需要在狭小空间内具有大偏转角的紧凑型光学器件特别有利。例如，在虚拟/增强现实眼镜中就是这种情况。通过这种方法，也可以实现智能手机中非常小的光学器件的有利设计。其他潜在应用包括高分辨率光谱或计算机生成的全息图。” 相关链接：https://phys.org/news/2023-06-method-thin-metasurfaces-diameter-centimeters.html |
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