中国首个用于量子芯片生产的激光退火仪研制成功

从安徽省量子计算工程研究中心获悉，中国首个专用于量子芯片生产的激光退火仪研制成功，该设备可解决量子芯片位数增加时的工艺不稳定因素，像“手术刀”一样精准剔除量子芯片中的“瑕疵”，增强量子芯片向多比特扩展时的性能，提升量子芯片的良品率。

据安徽省量子计算工程研究中心副主任贾志龙介绍，该激光退火仪由合肥本源量子计算科技有限责任公司研发，设备可达到百纳米级超高定位精度，可对量子芯片中单个量子比特进行局域激光退火。激光退火仪拥有正向和负向两种激光退火方式，可定向控制修饰量子比特的频率参数，解决多比特扩展中比特频率拥挤的问题，助力量子芯片向多位数扩展，该设备目前已投入使用。

国内首个专用于量子芯片生产的MLLAS-100激光退火仪

量子比特位数是代表量子计算机能力水平的重要参数之一，量子比特位数越高，其计算能力越强。“量子芯片生产过程中，科研人员通过无损探针仪发现量子芯片的优劣，对于其中的‘坏品’‘次品’，再用激光退火仪改善其中‘不良’的部分，从而提高量子芯片的品质。”贾志龙说。

贾志龙表示，量子芯片无损探针仪和量子芯片激光退火仪都属于量子芯片工业母机，前者是发现问题，后者是解决问题，通过两台机器相互配合，才能够生产出更高质量的量子芯片。

本源量子团队技术起源于中科院量子信息重点实验室，该团队一直致力于超导与硅基半导体两条产线工艺的量子计算芯片的研发，先后研发出中国首个超导量子计算机本源悟源、中国首款量子计算机操作系统本源司南、中国首条量子芯片生产线等。