用于制造小型光学透镜的微型玻璃吹制技术
从罗马时代开始，将空气注入热玻璃形成气泡就被用来制造玻璃制品。在这项新的研究中，研究人员将这些相同的玻璃吹制原理应用到显微镜下，制造出被称为轴棱锥透镜的微型透镜。
 传统上用于制造玻璃轴棱锥的技术一次只能生产一个透镜。虽然较便宜的轴棱锥可以在聚合物中制造，但它们不能经受诸如晶片级制造之类的高温过程，也不能用于需要高光功率的应用中。 “例如，聚合物轴棱锥不能用于光学钻孔，因为瞬时光功率与核电站的功率相当，但持续时间极短，” Passilly说。 微玻璃吹制以前被用于制作微透镜，但它通常涉及单个储层的气体膨胀。研究人员开发了一种轴棱锥的制作方法，将多个储层的气体膨胀结合起来，产生光学元件的圆锥形。这项技术从下到下塑造表面，留下一个高质量的光学表面，不同于通常使用的方法，如从上面雕刻晶圆的三维掩模进行蚀刻转移。 为了实现新的微玻璃吹制方法，研究人员在同心环中沉积硅空腔，然后在大气压力下用玻璃密封。把硅和玻璃堆放在一个熔炉中，会导致被困在空腔中的气体膨胀，形成环形气泡。这些气泡将玻璃表面挤出，形成圆锥形，然后将另一面磨掉，只留下成形的透镜。 “虽然我们使用的所有工艺都是微加工的标准工艺，但我们以非标准方式应用这些技术来制造微型玻璃轴棱锥，” Passilly说。“这项技术可用于创建其他形状，甚至是没有圆柱对称的形状。” 原文来源：https://phys.org/news/2019-06-microscopic-glass-tiny-optical-lenses.html |
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