从薄膜原理、设计到工艺
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时,既可以着手选用所需的基板,镀膜材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准模系着手,例如高反射镜不管波宽大小,开始我们一定是以四分之一波膜堆为设计基础,倘若是截止滤光片,则应以对称膜堆为设计基础。
9. 薄膜制备技术 9.1 常见薄膜制备技术 9.2 光学薄膜制备流程 9.3 淀积技术 9.4 工艺因素 10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 10.1 光学薄膜监控技术 10.2 误差分析与监控决策 10.3 Runsheet 与 Simulator应用技巧 10.4 膜系灵敏度分析 10.5 膜系容差分析 10.6 误差分析工具 11. 反演工程 11.1 镀膜过程中两种主要的误差(系统误差和随机误差) 11.2 使用反演工程来控制对设计的搜索 12. 应力、张力、温度和均匀性工具 12.1 光学性质的热致偏移 12.2 应力工具 12.3 均匀性误差(圆锥工具、波前问题) 13. Function功能扩展 13.1 如何在Function中编写操作数 13.2 如何在Function中编写脚本 14. 光学薄膜特性测量 14.1 薄膜光学常数的测量 14.2 薄膜堆积密度的测量 14.3 薄膜微观结构分析 14.4 薄膜成分分析 14.5 薄膜硬度、附着性及耐摩擦性的测量 14.6 薄膜表面粗糙度的测量 15. 项目管理与应用实例 15.1 项目管理 15.2 光学薄膜项目开发过程 15.3 客户需求分析 15.4 文档管理与报表生成 15.5 【案例分析】Macleod 软件在太阳能薄膜中的应用 15.6 【案例分析】Macleod 软件在激光薄膜设计分析中的应用 15.7 【案例分析】Macleod 软件在光电功能薄膜中的应用 15.8 仿生蛾眼结构在显示技术上的应用 15.9 OLED薄膜及微腔效应 15.10 金属线栅偏振器 16. Q&A |
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