大型高精度衍射光栅刻划系统研制项目通过验收

由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所承担的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”11日顺利通过验收，并制造出世界上面积最大的中阶梯光栅。

该成果填补了国内空白，标志着中国大面积高精度光栅制造中的相关技术已达到国际领先水平，结束了中国在大面积高精度光栅制造领域受制于人的局面。验收评审专家对该项目取得的成果给予了充分肯定，认为光栅刻划系统和光栅都达到了项目实施方案的技术指标，一致同意项目通过验收。

光栅是一种具有纳米精度周期性微结构的精密光学元件。它作为核心色散单元器件，在光谱学、天文学、激光器、光通讯、信息存储、新能源等诸多领域中具有重要应用。

长春光机所研究员、项目负责人唐玉国指出，光栅面积大可获得高集光率和分辨本领，精度高可获得更好的信噪比，但是，同时将光栅“做大”和“做精”则属于世界性难题。

光栅刻划机是制作光栅的母机，因部件的加工装调精度之难，运行保障环境要求之高，被誉为“精密机械之王”。唐玉国表示，本项目研制的光栅刻划机，几乎所有关键部件都冲击世界“极限”水平。经过8年艰苦攻关，项目组攻克18项关键技术，取得9项创新性成果，研制出一套大型高精度光栅刻划系统，并成功研制出面积达400mm×500mm的世界上面积最大的中阶梯光栅。

国家科技部研究员曹健林表示，大型高精度光栅刻划系统以及大面积中阶梯光栅的研制成功，不仅打破了中国大型光学系统、远程探测与识别等大科学装置以及国家战略高技术领域所需要的大面积高精度光栅受制于人的局面，而且能促进中国光谱仪器行业摆脱“有器无心”局面，帮助中国光谱仪器产业改变低端化现状、提升拓展国际市场的能力。