光电所在基于纳米压印技术的纳米球碗阵列制备研究中取得进展

纳米结构由于在众多领域的应用潜能引起了越来越多的关注，如光催化、生物传感、电磁学和超疏水材料等方面。目前先进的纳米结构加工技术包括电子束曝光、聚焦离子束直写、探针直写技术等。这些加工方法可以制备出高分辨率的纳米结构，但是较低的加工效率和高额的加工成本使得大规模生产仍然是一个巨大挑战。

中国科学院光电技术研究所胡松课题组基于现有的发展现状，展示了一种纳米球碗阵列的加工制备新方法，该方法结合了PS球自组装过程、纳米压印技术以及溶脱剥离技术，具体的加工过程如图1所示。首先是将纳米尺度的PS球自组装在基片上，作为纳米压印技术的模板使用，然后调节压印的压力和压印胶的厚度，控制纳米球浸没的深度，最后利用溶脱剥离技术去除PS球，获得口径大小不一的纳米球碗阵列结构，如图2所示。该研究提出的新方法，可以实现不同尺寸的纳米球碗的可控制作，在反应器件、催化和表面拉曼增强基底等方面具有广阔的应用前景。

相关成果发表于近期的OPTIK。 

图1.纳米球碗制备过程  

图2.不同口径的纳米球碗阵列结构