日本芝浦工业大学开发出激光照射形成铜布线技术
日本芝浦工业大学开发出了只需照射激光即可轻松形成铜布线的技术。该技术无需在特殊环境下使用特殊设备来形成铜布线,因此有望成为能够低成本轻松生产显示屏及智能手机等。
3月31日,日本芝浦工业大学宣布,开发出了只需照射激光即可轻松形成铜布线的技术。该技术无需在特殊环境下使用特殊设备来形成铜布线,因此有望成为能够低成本轻松生产显示屏及智能手机等。 电子产品的布线材料以前广泛使用性能高但价格贵的金和银,而近年来业内开始积极运用性能较高、成本较低的铜。但铜容易氧化,在通常环境(大气)下难以操作,需要使用大型真空设备及复杂的制造工艺。 此次通过在玻璃基板上涂布拥有热分解性的铜络合物溶液,并照射激光,成功促进了铜络合物的化学反应,使铜固定下来。即使在通常的大气环境下也可形成铜布线,而且除铜外只会释放气体(CO2等),无需后处理。目前确认可形成数10μ~200μm宽的布线。 芝浦工业大学同时还在研究以塑料等有机无机混合树脂为基板、又轻又薄、可卷起可弯折的柔性显示器,目标是将使用此次技术的柔性显示器投入实用。今后该大学将与企业等合作,对更微细的布线形成以及工艺的精密化展开研究。 |
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