西安工业大学光学工程学科博士研究生招生学科介绍

目前，光学学科拥有教学科研用房面积约8000m2，拥有微加工实验室、薄膜实验室、光学加工及测试实验室、靶场光电测试实验室等实验室，实验室各类仪器设备总价值达到6000余万元。

科研方向及研究成果

方向一：微光电器件制造技术与应用

以刘卫国教授为学术带头人的微光电器件制造技术与应用研究群体，以“集成非制冷热成像探测器件”为研究对象，提出基于热释电和测辐射热计效应的微桥阵列探测器件的薄膜转移混合集成新方法，实现了45μm单元、160120阵列探测器件的制造，突破了集成制造过程中因工艺温度过高所带来的读出电路破坏的技术瓶颈；在国内率先提出基于聚合物旋光热效应的全新光学读出热成像探测器结构及制造方法，突破了640480以上规模阵列探测器件制造的关键技术。

在“微纳米结构制造与检测技术”的研究中，研究了用于支撑微传感器制造及成像探测微光学元件的微纳米制造新技术。在欧盟国际合作项目等支持下，提出采用激光多光束干涉光刻结合HDMS软印章压印与低能离子束刻蚀实现红外光学表面复杂微纳米结构的复制制造，为纳米微结构的红外成像应用提供了新方法；提出将数字全息显微技术引入到三维微结构检测中，在国内首次实现了微光学及阵列光学、光电元件几何和光学参数的综合测量。

近五年，先后获得国防973、解放军总装备部光电专项、国家国防科工局基础科研、欧盟合作计划、国家自然科学基金和省市重大专项的资助，授权发明专利11项，省级科技奖励4项，成果在《Materials Chemistry and Physics》、《Journal of the American Ceramic Society》等上发表。

方向二：薄膜与等离子体技术

以苏俊宏、杭凌侠等教授为学术带头人的研究群体，在解放军总装备部和兵器集团的资助下，针对武器装备中对红外光学薄膜器件的特殊要求，率先在国内将离子束及等离子体技术引入到光学薄膜的制备中，先后研制出脉冲等离子体源、非平衡磁控溅射装置、等离子体增强霍尔源、双束溅射离子源等多种等离子体发生装置，开发出高性能薄膜，成果在国内广泛应用。

近5年，承担解放军总装备部项目6项，国家自然基金项目3项，获各类省部级科技奖励3项，在科技部和陕西省的资助下，完成了“离子镀膜技术研究”、“高频等离子体源开发与应用”等5项国际科技合作项目；承办了第一届“光学薄膜前沿”国际学术研讨会。

方向三：光学加工与检测技术

以田爱玲、韩军等教授为学术带头人的研究群体，在中大口径超精密低损耗光学元件的加工与检测领域积累了丰富的研究成果。在国内率先研制出相移式横向剪切非球面干涉测量装置，解决了非球面测量中条纹判读难题；提出了基于横向剪切干涉的大口径非球面子孔径拼接测量技术，突破了大口径非球面检测瓶颈；

在国内首次将激光共焦和层析技术引入到表面缺陷与亚表面损伤测量中，研制出光学亚表面损伤检测设备，实现了光学元件制造过程中亚表面损伤层的非破坏定量测量。

获国家发明专利15项，获国家科技进步奖1项，各类省部级科技奖4项，编著《现代光学制造技术》、《光干涉测试技术》和《光学手册（光学冷加工部分）》，译著《非球面光学元件的先进制造和应用技术》。