光学车间检测（原书第3版）

《光学车间检测(原书第3版)》原著是光学检测领域的权威著作之一，从第1版到第3版的再版历时三十年时间，第一版都深受光学检测领域读者的欢迎。《光学车间检测(原书第3版)》（原书第3版）详细介绍了光学检测领域的各种仪器、方法和技术手段，以及三十年来光学检测领域的最新重要进展。

《光学车间检测(原书第3版)》共分18章，主要内容包括：牛顿干涉仪，菲佐干涉仪，海丁格干涉仪，泰曼-格林干涉仪，共光路干涉仪，横向剪切干涉仪，径向、旋转和反转剪切干涉仪，多光束干涉仪和多通道干涉仪的技术原理和使用方法；介绍了傅科J1口法、细丝法和调相法，朗奇检验法，哈特曼光阑检验、哈特曼-夏克光阑检验及其他光阑检验，星点检验法，非球面波前和镜面的检验，泽尼克多项式与波前拟合，相移干涉测量，表面轮廓仪，多波长及白光干涉测量，散射表面光学检测，角度、棱镜、曲率半径和焦距的测量，光学面及其特性的数学描述等光学检测的主要技术手段和分析方法。

《光学车间检测(原书第3版)》可供从事光学检验、检测、测试、计量与研究、设计与制造工作的广大科技人员参考，也可作为教材供相关专业学生及教师使用。

目录

译丛序言

第3版译者的话

第3版序

第1章 牛顿干涉仪、菲佐干涉仪和海丁格干涉仪

1.1 引言

1.2 牛顿干涉仪

1.2.1 光源尺寸的考虑

1.2.2 几种合适的光源

1.2.3 制作平面样板的材料

1.2.4 估计最大误差的简单方法

1.2.5 球面的测量

1.2.6 非球面的测量

1.2.7 不透明表面平面度测量

1.3 菲佐干涉仪

1.3.1 基本的菲佐干涉仪

1.3.2 光源相干性要求

1.3.3 准直透镜质量要求

1.3.4 液体基准面

1.3.5 激光作为光源的菲佐干涉仪

1.3.6 多光束菲佐干涉仪

1.3.7 近似平行板的测量

1.3.8 检测大口玻璃和熔融石英试样的不均匀性

1.3.9 测量杆、块和平板面的平行度和平面度

1.3.10 三面直角棱镜和直角棱镜的测量

1.3.11 菲佐干涉仪检测曲面

1.3.12 检测凹面和凸面

1.4 海丁格干涉仪

1.4.1 海丁格干涉仪的应用

1.4.2 用激光作为海丁格干涉仪光源

1.4.3 海丁格干涉仪的其他应用

1.5 平面的绝对测量

参考文献

第2章 泰曼-格林干涉仪

2.1 引言

2.2 分光镜

2.2.1 分光镜平板导致的光程差

2.2.2 平板分光镜的精度要求

2.2.3 偏振分光棱镜

2.2.4 非偏振分光棱镜

2.3 相干性要求

2.3.1 空间相干性

2.3.2 时间相干性

2.4 泰曼．格林干涉仪的应用

2.4.1 棱镜和衍射光栅的检测

2.4.2 透镜的检测

2.4.3 显微物镜的检测

2.5 干涉仪内部畸变的补偿

2.6 非等程干涉仪

2.6.1 几种特殊设计

2.6.2 提高条纹稳定性

2.7 开放光路干涉仪

2.7.1 马赫·泽德干涉仪

2.7.2 倾斜入射干涉仪

2.8 泰曼·格林光路结构的变形

2.8.1 多幅成像干涉仪

2.8.2 使用衍射分光镜的干涉仪

2.8.3 相位共轭干涉仪

2.9 泰曼格林干涉图及其分析

参考文献

第3章 共光路干涉仪

3.1 引言

3.2 使用两块匹配散射板的伯奇干涉仪

3.2.1 菲涅耳波带片干涉仪

3.2.2 伯奇和菲涅耳波带片干涉仪检测非球面

3.2.3 伯奇和菲涅耳波带片干涉仪测量相移

3.3 双折射分光镜

3.3.1 萨瓦偏光镜

3.3.2 渥拉斯顿棱镜

3.3.3 双焦系统

3.4 横向剪切干涉仪

3.4.1 萨瓦偏光镜的使用

3.4.2 渥拉斯顿棱镜的使用

3.5 双焦干涉仪

3.6 桑德斯棱镜干涉仪

3.7 点衍射干涉仪

3.8 采用共光路干涉仪的泽尼克检测

参考文献

第4章 横向剪切干涉仪

4.1 引言

4.2 光源的相干性

4.3 横向剪切干涉计量的理论简介

4.3.1 球面和平面波前的干涉图样

4.3.2 横向剪切干涉中初级像差的干涉图样

4.4 未知波前的估计

4.5 平行光横向剪切干涉仪（白光补偿）

4.5.1 基于雅明(Jamin)干涉仪的横向剪切干涉装置

4.5.2 基于迈克耳逊干涉仪的横向剪切干涉装置

4.5.3 基于循环式干涉仪的横向剪切装置

4.5.4 基于马赫．泽德干涉仪的横向剪切装置

4.6 会聚光横向剪切干涉仪（白光补偿）

4.6.1 基于迈克耳逊干涉仪的横向剪切装置

4.6.2 基于马赫·泽德干涉仪的横向剪切装置

4.7 使用激光的横向剪切干涉仪

4.8 其他类型的横向剪切干涉仪

4.8.1 基于衍射原理的横向剪切干涉仪

4.8.2 基于偏振原理的横向剪切干涉仪

4.9 矢量剪切干涉仪

4.9.1 剪切干涉计量

4.9.2 定向剪切干涉仪

4.9.3 模拟干涉图样

4.9.4 实验结果

4.9.5 矢量剪切干涉仪和其他干涉仪的相似点和差别

参考文献

第5章 径向、旋转和反转剪切干涉仪

5.1 引言

5.2 径向剪切干涉仪

5.2.1 径向剪切干涉图样的波前评估

5.2.2 单光程径向剪切干涉仪

5.2.3 双光程径向剪切干涉仪

5.2.4 激光径向剪切干涉仪

5.2.5 厚透镜径向剪切干涉仪

5.3 旋转剪切干涉仪

5.3.1 光源大小未补偿的旋转剪切干涉仪

5.3.2 光源补偿的旋转剪切干涉仪

5.4 反转剪切干涉仪

参考文献

第6章 多光束干涉仪

6.1 发展简史

6.2 多光束干涉计量技术的精度

6.3 多光束菲佐干涉仪

6.3.1 干涉条纹的形成

6.3.2 菲佐干涉测量法

6.4 等色序条纹

6.5 多光束干涉测量中如何减少干涉条纹的间隔

6.6 平行平面法布里珀罗 干涉仪

6.6.1 薄膜厚度的测量

6.6.2 表面平面度偏差

6.7 用法布里-珀罗 干涉仪产生的托兰斯基干涉条纹

6.8 检验曲面用的多光束干涉仪

6.9 耦合干涉仪和串联干涉仪

6.9.1 耦合干涉仪

6.9.2 串联干涉仪

6.1 0 全息多光束干涉仪

6.1 1 法布里-珀罗 干涉条纹近代的发展

第7章 多通道干涉仪

第8章 傅科刀口法、细丝法及调相法

第9章 朗奇(Ronchi)检验法

第10章 哈特曼光阑检验、哈特曼·夏克光阑检验及其他光阑检验

第11章 星点检验法

第12章 非球面波前和镜面的检验

第13章 泽尼克多项式与波前拟合

第14章 相移干涉测量

第15章 表面轮廓仪、多波长及白光干涉测量

第16章 散射表面光学检测

第17章 角度、棱镜、曲率半径和焦距的测量

第18章 光学面及其特性的数学描述