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    [讨论]SiO2 材料型狀 [复制链接]

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    离线rexchou
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-11-23
    蒸鍍機所用的 SiO2 有 O型環 與顆粒狀鋪灑在圓型坩鍋上的 w9<'0wcs  
    使用的EB 電流 有所差異 EATVce]T  
    但不知道這兩種外型的SiO2 各有甚麼優劣? <`=Kt[_BQ  
    請問各位前輩有甚麼建議嗎? ,G46i)E\  
    5yK#;!:h  
    QN$s %&O  
    ;b=diZE  
    L[9Kh&c  
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-11-23
    应该是一样的,价格上有差异。镀AR我们两种都用过。
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    rexchou 光币 +2 热心助人,鼓励! 2017-11-24
    离线rexchou
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-11-24
    回 囊中蓄乾坤 的帖子
    囊中蓄乾坤:应该是一样的,价格上有差异。镀AR我们两种都用过。 (2017-11-23 19:44) &v;fK$=2C  
    F Xr\  
    這就是問題所在,材料本質是一樣的,但價格有差異。 (j@c946z""  
    JCBX?rM/  
    雖然我沒用過顆粒狀的,但我不認為製程電流相同。 v%2Dz  
    #*y.C[^5{  
    鍍AR可能看不出差異,有鍍過長製程 IR或UI嗎?
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-11-24
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:這就是問題所在,材料本質是一樣的,但價格有差異。
    雖然我沒用過顆粒狀的,但我不認為製程電流相同。
    ....... (2017-11-24 08:58)  H<ovIMd  
    F|!=]A<  
    这个最多镀到980nm,没有什么差异,其他范围到没有试过。EB电流肯定会有差异的。之前做苹果的AR用的是1-3颗粒的。
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    rexchou 光币 +5 精彩回帖,奖励! 2017-11-25
    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-11-26
    形状不一样,散热不一样,一样电流下蒸发速率也不一样。 AEWrrE  
    颗粒状的加料的人不一样,可能高度,紧密度会有差异,从而稳定性不如环形的。 C{t}q*fG 5  
    一般建议用环形。 m*)jnd XY  
    P<[) qq@;  
    颗粒状的一般多在点状坩埚用。 jJvd!,=)  
    有的机型为了稳定性,点状坩埚都用块状的二氧化硅。
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    rexchou 光币 +2 热心助人,鼓励! 2017-11-27
    离线rexchou
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-11-27
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:形状不一样,散热不一样,一样电流下蒸发速率也不一样。 W ,]Ua]  
    颗粒状的加料的人不一样,可能高度,紧密度会有差异,从而稳定性不如环形的。 ka_R|x G\  
    一般建议用环形。
    颗粒状的一般多在点状坩埚用。 k%N$eO$  
    ....... (2017-11-26 00:59) t""Y -M  
    -"2%+S{  
    您說的很對 :F"NF  
    'auYmX  
    但我想知道的是關於缺陷部分,是否 K[9P{0hA  
    顆粒狀的藥材會不會有更好得表現~ x;STt3M~  
    离线ouyuu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2017-11-27
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:您說的很對
    但我想知道的是關於缺陷部分,是否 -x>2Wb~%  
    顆粒狀的藥材會不會有更好得表現~[表情] #<-%%  
    ....... (2017-11-27 15:35)  nc#} \  
    lBG"COu  
    据我所知,颗粒的稳定性更差一点,特别是薄层上。 ,@8*c0Y~<!  
    但是一般不镀AR的话应该不会有很大差别。 #BI Z|  
    有可能颗粒的更便宜一点,另外颗粒的上料不用拆磁极。
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    rexchou 光币 +5 精彩回帖,奖励! 2017-11-29
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    只看该作者 7楼 发表于: 2017-11-28
    我们这里两种都在用,一般使用环状的有两个优势: @u-CR8^  
    1、蒸镀过程中电流比较稳定,也就是说环料在收到电流波动时不会产生多余的飞溅之类的;散料在蒸镀过程中受电流波动影响部分颗粒会局部受热不均匀存在飞溅的现象,蒸镀时如果飞溅至电子枪或者离子源附近,就会造成电子枪或者离子源异常工作从而引起品质的波动; x0dBg~I  
    2、环料蒸镀的外观品质较散料而言较好。具体原因未能查明,个人觉得是跟受热有关系,散料之间缝隙较大,热传递较差,冷却效果较差而且还有部分杂气甚至杂物在膜料之间,蒸镀过程中会对外观造成影响,环料是整块的,热传递较好,材料德 冷却效果也更好。 ?T>)7Y)  
    一般膜层较少时会考虑散料,一来节省打扫时间,而来节约一定的成本,散料用过后还可以接着加材料继续用,环料两面用过后再无法使用。
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    rexchou 光币 +5 精彩回帖,奖励! 2017-11-29
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 2017-11-28
    现在外面有做半厚度的环状材料,两片叠着用。据说成本更低。 2-@z-XKn  
    其实这种成本是伪命题,节省成本必然带来品质的下降。 FOSC#W9E  
    <*HsJwr)u  
    就像日本电子的电子枪,一个扫描控制器要10万多,可以把光斑变成直线状。 zIc_'Z,b  
    但是如果把电子枪的第三磁极拆了,光斑也是直线状的。而且装环时候就不用拆磁极棒了,多棒啊。 M4L<u,\1s  
    但实际上用扫描控制器的稳定性和重复性要远远好于拆磁极的。如果做高规格产品,良品率就不是一个档次的。
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    只看该作者 9楼 发表于: 2017-11-29
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:现在外面有做半厚度的环状材料,两片叠着用。据说成本更低。 !~ZAm3GwL  
    其实这种成本是伪命题,节省成本必然带来品质的下降。
    就像日本电子的电子枪,一个扫描控制器要10万多,可以把光斑变成直线状。 }ZfdjF8N!  
    但是如果把电子枪的第三磁极拆了,光斑也是直线状的。而且装环时候就不用拆磁极棒了,多 .. (2017-11-28 11:17)  QT[4\)  
    r5PZ=+F  
    我们现在用的应该就是你说的拆过磁极棒的设备。