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[分享]适用显微镜质量测试的高分辨率测量镜头设计 [复制链接]

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离线ttb2016

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2017-11-16

关键词：显微镜分辨率镜头 ZEMAX

利用Zemax光学设计软件设计了一款适用于光学成像尺寸为38 mm的互补金属氧化物半导体（CMOS）型工业相机的高分辨率测量镜头，该工业相机用于自动化定量分析检测显微镜像差。通过数码图像处理的方式去评判显微镜物镜性能的好坏。在满足性能要求基础上，对普通的测量镜头结构加以优化，使得测量镜头拥有非常高的分辨率。该镜头焦距为36 mm，后工作距约为32 mm，视场像面高度为36 mm，在90 lp/mm处，中心视场调制传递函数（MTF）值大于0.45，边缘视场MTF值大于0.25。