[分享]新柯隆RF型离子源的原理及介绍 [复制链接]

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回复一下看看资料，一直搞不清为什么RF离子源国内做不了

刚需，谢谢楼主

lovsilence:回复一下看看资料，一直搞不清为什么RF离子源国内做不了 (2019-02-01 14:22)  (d'j'U:C  

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首先是栅网 7vpN6YP  
1，栅网材料现在选用的是进口材料，晶格的均匀性和内应力控制上，国内材料还达不到国外的水准。栅网使用时温度可以达到1000多度，国产材料在这种温度下很难控制变形量。而栅网的孔只要不是在一条直线上，离子输出能量和输出均匀性就会受很大影响。 r d6F"W  
2，即使用了进口材料，国内的机床加工精度还达不到日本的水平。 g{W6a2  
3，只要三片栅网的孔没有对准，实际离子输出就会受影响。原厂栅网在出厂前会进行检测，然后根据结果对三片栅网进行匹配，所以一般原厂栅网输出效率能达到90%左右。国产的我乐观估计60%就不错了。 $JhZ'Z  
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其次是匹配和软件 R=amKLD?  
根据气体不同，RF射频的相位匹配很重要，这个需要根据经验进行微调。 !P~ PF:W~|  
还有软件上需要人员进行开发。如果不是自己生产的镀膜机，和镀膜机的联动也是个问题。 45)ogg2  
所以一般是镀膜机厂家自己开发，独立开发的话，后期服务需要大量人手，其实利润不高的。

感谢分享

ouyuu:首先是栅网 E-UB -"6  
1，栅网材料现在选用的是进口材料，晶格的均匀性和内应力控制上，国内材料还达不到国外的水准。栅网使用时温度可以达到1000多度，国产材料在这种温度下很难控制变形量。而栅网的孔只要不是在一条直线上，离子输出能量和输出均匀性就会受很大影响。 '1W!xQ}E  
2，即使用了进口材 .. (2019-02-02 16:49)  6=ZRn gQ  

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感谢版大的精彩回复！

lovsilence:感谢版大的精彩回复！ (2019-03-03 23:33)  + c`AE  

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据我所知国内已经有三～五家在开发了。但是稳定性肯定不如进口机的。 k/%#>  
一是原材料和进口件还是有差异，二是进口机都是厂家自己做的，对自己设备的匹配性肯定更好。

正好需要了，太感谢了

感谢分享！！！

学习一下，谢谢楼主分享。