稳定性上很难说。 sHMZ'9b
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪, =q*j". <
后来因为软件问题,包括售出的机器全换成了INFICON的。 VQ`a-DL
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了,没问题了, #mc GT\tQ
然后又买了400多台,然后又是各种问题。 )}R
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新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 ;rh@q4#
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回过头来讲,晶振的原理非常清楚,做晶振一点也不难。 r(/+-
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难就难在抗干扰上了,加热丝开关造成的电压波动; ^$F1U,oi
电子枪高电压6KV~10KV;离子源的RF射频干扰; *8xMe
机械泵和POLYCOLD的震动……