稳定性上很难说。 ~PiCA
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪, vH/Y]Am
后来因为软件问题,包括售出的机器全换成了INFICON的。 zR_yxs'
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了,没问题了, vC _O!2E
然后又买了400多台,然后又是各种问题。 cvO;xR
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新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 {6brVN.V
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回过头来讲,晶振的原理非常清楚,做晶振一点也不难。 eW zyydl
难就难在抗干扰上了,加热丝开关造成的电压波动;
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电子枪高电压6KV~10KV;离子源的RF射频干扰; VO+3@d:
机械泵和POLYCOLD的震动……