稳定性上很难说。 Lh`B5
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪, &}}UdJ`
后来因为软件问题,包括售出的机器全换成了INFICON的。 XM?>#^nC?u
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了,没问题了, EGJ d:>k
然后又买了400多台,然后又是各种问题。 T'C^,,if
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新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 e"g=A=S
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回过头来讲,晶振的原理非常清楚,做晶振一点也不难。 q%&JAX=
难就难在抗干扰上了,加热丝开关造成的电压波动; *BdKQ/Dk
电子枪高电压6KV~10KV;离子源的RF射频干扰; k9Pwf"m|](
机械泵和POLYCOLD的震动……