稳定性上很难说。 R(7X}*@X
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪, 6&xW9' 6b:
后来因为软件问题,包括售出的机器全换成了INFICON的。 +_|cZlQ&
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了,没问题了, 6Kv}2M')+
然后又买了400多台,然后又是各种问题。 &oK/]lub
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新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 TF}4X;3Dsy
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回过头来讲,晶振的原理非常清楚,做晶振一点也不难。 exrt|A]_[
难就难在抗干扰上了,加热丝开关造成的电压波动; o"+&^
电子枪高电压6KV~10KV;离子源的RF射频干扰; {$QF*j
机械泵和POLYCOLD的震动……