稳定性上很难说。 >aVgI<
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪， LCHMh6
后来因为软件问题，包括售出的机器全换成了INFICON的。 P"w\hF
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了，没问题了， \]9)%3I
然后又买了400多台，然后又是各种问题。 >pU9}2fpT
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新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 _M^.4H2
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回过头来讲，晶振的原理非常清楚，做晶振一点也不难。 Pv'Q3O2<I
难就难在抗干扰上了，加热丝开关造成的电压波动； ntW@Fm:bw>
电子枪高电压6KV～10KV；离子源的RF射频干扰； X NJ4T]><
机械泵和POLYCOLD的震动……
