退掉的是EPD吧。 zV_U/]y
EPD是个全新的概念,用小功率的离子源就可以做出超硬膜来。 ,f8<s-y4Sg
就研发实力来讲,新柯隆比光驰强太多了。 =T;>$&qs
N=^{FZ
现在这机器问题主要是麻点,因为伞架太低了,坩埚里药物的喷溅容易飞到伞架上。 Z{s&myd
增加坩埚盘和伞架的距离后会好很多,但是镀膜速率就没有设计的高了。
DvCs 5
等这机器整好以后,不出三年光驰肯定会推同样机型。 k
#y4pF_
现在除了RAS机光驰都抄成功了。 &4Q(>"iL4
!
/;@kXN
我基本知道你们公司的名字了。 mr
dG-t(k
RAS机可以做Si3N4和SiO2的膜系,如果需要做极端超硬膜的话可以买新柯隆。 kwU~kcM
(虽然我现在不在新柯隆了,但是我还是比较认同新柯隆的理念, FtXd6)_S
像光驰这样抄下去,研发都会死掉的。) _-eF
&D