退掉的是EPD吧。 >f9]Nj
EPD是个全新的概念,用小功率的离子源就可以做出超硬膜来。 eJwii
就研发实力来讲,新柯隆比光驰强太多了。 Wf&G9Be?8
S+\Mt+o
现在这机器问题主要是麻点,因为伞架太低了,坩埚里药物的喷溅容易飞到伞架上。 g275{2G9
增加坩埚盘和伞架的距离后会好很多,但是镀膜速率就没有设计的高了。 5x L,~"
等这机器整好以后,不出三年光驰肯定会推同样机型。 \Jj'60L^
现在除了RAS机光驰都抄成功了。 >Gu>T\jpe.
Ml_:Q]kl^
我基本知道你们公司的名字了。 oY#XWe8Om
RAS机可以做Si3N4和SiO2的膜系,如果需要做极端超硬膜的话可以买新柯隆。 E(K$|k_>
(虽然我现在不在新柯隆了,但是我还是比较认同新柯隆的理念, CEJG=*3
像光驰这样抄下去,研发都会死掉的。) ,C12SM*@