退掉的是EPD吧。 1H%LUA
EPD是个全新的概念,用小功率的离子源就可以做出超硬膜来。 TN(1oJ:
就研发实力来讲,新柯隆比光驰强太多了。 e;!si>N
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现在这机器问题主要是麻点,因为伞架太低了,坩埚里药物的喷溅容易飞到伞架上。 {i3]3V"Xp
增加坩埚盘和伞架的距离后会好很多,但是镀膜速率就没有设计的高了。 @"];\E$sI
等这机器整好以后,不出三年光驰肯定会推同样机型。 ;ZB[g78%R%
现在除了RAS机光驰都抄成功了。 0zetOlFbO
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我基本知道你们公司的名字了。 `9%@{Ryo
RAS机可以做Si3N4和SiO2的膜系,如果需要做极端超硬膜的话可以买新柯隆。 Yaht<Hy
(虽然我现在不在新柯隆了,但是我还是比较认同新柯隆的理念, 9>%ti&_-jt
像光驰这样抄下去,研发都会死掉的。) "\Z.YZUa\