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    [分享]基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究 [复制链接]

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    离线ttb2016
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-06-08
    关键词： 干涉光栅
    基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究 ]rd/;kg.S  
    t *6loS0+  
    基于显微白光干涉术，利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图，并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法及包络曲线拟合法对扫描干涉图进行了分析处理。被测微光栅的形貌及周期在各算法下均完全吻合，台阶总高最大相差0.8%。同时，用美国Veeco白光轮廓仪对同一样品的形貌及光栅周期进行了测试，数据显示两者结果非常吻合，仅台阶总高相差0.7%。研究结果表明，所采用的四种算法均适用于微观三维形貌的测量。
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    离线bairuizheng
    科学家
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-06-09
    看看，谢谢
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    离线measure123
    高级工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-06-09
    看看，谢谢  <dR,'  
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    离线shuotian99
    工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-08-24
    学习一下 T{MC-j _T9  
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    离线cameragirl
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-11-09
    谢谢分享啦啦啦啦啦
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    离线jinzhide
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-12-20
    看看，谢谢
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    离线叫我留白
    实习生
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-03-31
    大佬，看一看，谢谢！
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    离线ajian00athrun
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-06-12
    貌似有价值 可以参考
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    离线jabil
    高级工程师
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    只看该作者 8楼 发表于: 2023-09-24
    LET ME SEE IT
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    离线风过无痕741
    实习生
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    只看该作者 9楼 发表于: 2023-11-17
    看一下，谢谢。
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