膜外⽩雾 ula-o)S
现象:镀膜完成后,表⾯有⼀些淡淡的⽩雾,⽤丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。 5UEZpxnv
⽤氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(⼜称:可擦拭压克) WZ CI*'
分析:膜外⽩雾的成因较为复杂,可能的成因有: lTx_E#^s
① 膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙; &,nv+>D
② 蒸发⾓过⼤,膜结构粗糙。 1!#N-^qk
③ 温差:镜⽚出罩时内外温差过⼤ S=UuEmU5N
④ 潮⽓;镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ &.)=>2
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 RTOA'|[0M
⑥ 蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀 VBhUh~:Om
⑦ 膜与膜之间的应⼒ 9[0iIT$q$
改善思路:膜外⽩雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,⼀是把膜做的致密 ZEqW*piI
光滑些不容易吸附,⼆是改善环境减少吸附的对象。 /$~1e7W
改善对策: FQZ*i\G>>
㈠ 改善膜系,外层加⼆氧化硅,使膜表⾯光滑,不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境(⼲燥、清 7({)ou x
洁) yaUtDC.|
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应⼒。 !=[Y yh
㈢ 改善充氧(加⼤),改善膜结构。 Y
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㈣ 适当降低蒸发速率,改善柱状结构 ?
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㈤ 离⼦辅助镀膜,改善膜结构 &W<7!U:2m
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀(其功能是及时带⾛⽔汽) R/hf"E1
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 ,Z`}!%?
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 `ecseBn3d
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 D!j/a!MaKk
膜内⽩雾 8g#$Y2P
⽩雾形成在膜内,⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 iJs~NLCgVu
可能的成因: I7ao2aS
① 基⽚脏,附着前⼯程的残留物 sy&[Q{,4
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 +f3Rzx]
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 !<[+u
④ 氧化物充氧不够。 q<YM,%mgj
⑤ 基⽚进罩前(洗净后)受潮⽓污染 Oa[
⑥ 洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹 ",#.?vT`
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 -]N2V'QB
⑧ 环境湿度⼤ h<.5:a
改善思路:基⽚本⾝的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 ptCF))Zm'
问题。 8lyIL^
改善对策: )%(ZFn}
㈠改进膜系,第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 .3
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㈡尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 *^?tr?e%I<
㈢真空室在更换护板、清洁后,最好能空罩抽真空烘烤⼀下,更换的护板等真空室部件必须⼲ T.bFB+'E|
燥、⼲净。 At7!Pas#@g
㈣改善环境 {cK<iQJ
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚,免受污染。 }M07-qIX{
㈥改善洗净、擦拭效果。 0seCQANd
㈦改善膜匹配(考虑第⼀层⽤Al2O3) yD9enYM
㈧改善膜充氧和蒸发速率(降低) -gn0@hS0
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 vhe Y
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㈩抛光加⼯完成的光⾯,必须⽴即清洁⼲净,不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。