膜外⽩雾 [pUw(KV2m
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 D!h8NZ;El
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） lTv I;zy
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： &8_]omuNV
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； oN)l/"%C7/
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 h=.|! u
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ dQYb)4ir
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ --d< s
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 ( 8TB*BhQ_
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 {(w/_C9
⑦ 膜与膜之间的应⼒ iE=Yh
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 PBbJfm
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 <|c n Qj*
改善对策： }=z_3JfO
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 'C8VD+p
洁） U":hJ*F)
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 ]>E*s3h
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 0^az<!!O#
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 "^ F#oo%L
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 SUINV_>7
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） '$YB
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㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 U&yXs'3a&
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 1uZ[Ewl]
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 ?:vp3f#
膜内⽩雾 K#rfQ0QK/!
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 dF:@BE o
可能的成因： {a\O7$A\F
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 VR ^qwS/
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 (9%
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③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 f]`#BE)V
④ 氧化物充氧不够。 cjAKc|N J
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 \
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⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 WSi`)@.X O
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 SNV~;@(h
⑧ 环境湿度⼤ 3sIW4Cs7)U
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 ^e:C{]S=
问题。 C,~wmS )@
改善对策： R''nZ/R
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 y=g9 wO
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 u.sF/T=6f
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ {a^A -Xh[u
燥、⼲净。 "RMBV}<T
㈣改善环境 "[2CV!_
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 $R(?@B (
㈥改善洗净、擦拭效果。 w`=_|4wFw
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） SF$7WG3Q
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低）
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㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 ^!^6 | [
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
