膜外⽩雾 n.6T
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现象:镀膜完成后,表⾯有⼀些淡淡的⽩雾,⽤丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。 D)b}f`
⽤氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(⼜称:可擦拭压克) @E9" Zv-$
分析:膜外⽩雾的成因较为复杂,可能的成因有: 7{kP}?
① 膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙; 0HeD{TH\
② 蒸发⾓过⼤,膜结构粗糙。 0"WDH)7hJ
③ 温差:镜⽚出罩时内外温差过⼤ -6~' cm
④ 潮⽓;镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ $hrIO+
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 R=)55qu
⑥ 蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀 </zXA$m
⑦ 膜与膜之间的应⼒ r|<DqTc6l
改善思路:膜外⽩雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,⼀是把膜做的致密 k) \gWPH
光滑些不容易吸附,⼆是改善环境减少吸附的对象。 (#\pQ51
改善对策: 48D?'lW %
㈠ 改善膜系,外层加⼆氧化硅,使膜表⾯光滑,不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境(⼲燥、清 *<4Em{rZ5
洁) w|Cx>8P8@
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应⼒。 .giz=*q+
㈢ 改善充氧(加⼤),改善膜结构。 /#LW"4;*
㈣ 适当降低蒸发速率,改善柱状结构 w!^~<{Kz
㈤ 离⼦辅助镀膜,改善膜结构 77 r(*.O|
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀(其功能是及时带⾛⽔汽) c "=N
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 'cZN{ZMWG
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 .10y0FL4
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 Q+q,!w8
膜内⽩雾 kyw/LE3$-
⽩雾形成在膜内,⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 i&Fiq&V)[
可能的成因: n]Li->1
① 基⽚脏,附着前⼯程的残留物 /*)Tl
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 (<*e
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 4$6T+i2E
④ 氧化物充氧不够。 B~o-l*
⑤ 基⽚进罩前(洗净后)受潮⽓污染 myFAKRc
⑥ 洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹 xG2+(f#C1
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 AvJ,SQt
⑧ 环境湿度⼤ hcCp,b
改善思路:基⽚本⾝的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 ]88];?KS}
问题。 VaONd0Z I
改善对策: U/{6%
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㈠改进膜系,第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 DPn=n9n2
㈡尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 _Xcn
N:Rt
㈢真空室在更换护板、清洁后,最好能空罩抽真空烘烤⼀下,更换的护板等真空室部件必须⼲ N5zlT
燥、⼲净。 d(`AXyw
㈣改善环境 9O*_L:4o
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚,免受污染。 lK7m=[j
㈥改善洗净、擦拭效果。 a`Qot
㈦改善膜匹配(考虑第⼀层⽤Al2O3) | t QiFC
㈧改善膜充氧和蒸发速率(降低) o|pT;1a"
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 Z"-L[2E/{!
㈩抛光加⼯完成的光⾯,必须⽴即清洁⼲净,不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。