膜外⽩雾 p^KlH=1n.6
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 r,2Xu
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） ,DQGv_
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： V[o7J r~
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； DKy >]Hca
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 iK5]y+@8
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ 6R 1wn& 8
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ .cg =
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 k4qLB1&,
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 [x;(cISK1
⑦ 膜与膜之间的应⼒ jlu`lG*e&
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 f >mhFy
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 (KT38RhA
改善对策： 5^/, aI
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 `zdH1 p^w
洁） "gXxRHTX
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 +
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㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 t8+?U^j
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 ![* :.CW
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 +7| [b
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） kQ@gO[hS
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 N ]B)Fb
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 =nJ{$%L\x,
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 7~_{.f
膜内⽩雾 PT3>E5`N u
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 3>RcWy;1i
可能的成因： R=!kbBK>\
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 LtC~)R
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 FX
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③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 T" n{WmVQ
④ 氧化物充氧不够。 nN> J*02(
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 1TKEm9j ]u
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 ^'m\D;
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 U
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⑧ 环境湿度⼤ d; 9*l!CF
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 7=} 6H3|&
问题。 0CT}DQ._^N
改善对策： 10mK}HT>4B
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 ZTN(irK
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 9lKn% |=T
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ 3 pB}2 ]
燥、⼲净。 3)}( M
㈣改善环境 \Ke8W,)ew
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 ?N:B
㈥改善洗净、擦拭效果。 FC6x Fg^
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） +a|"{
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） < "<Mbbp
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 KacR?Al
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
