膜外⽩雾 J ^'El^F
现象:镀膜完成后,表⾯有⼀些淡淡的⽩雾,⽤丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。 t`Kbm''d[
⽤氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(⼜称:可擦拭压克) H@Dpht>[
分析:膜外⽩雾的成因较为复杂,可能的成因有: b/wpk~qi
① 膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙; b 7UJ
② 蒸发⾓过⼤,膜结构粗糙。 rUiYR]mV
③ 温差:镜⽚出罩时内外温差过⼤ *'%V}R[>
④ 潮⽓;镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ %FO{:@CH
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 (l{vlFWd
⑥ 蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀 TNX9Z)=>g
⑦ 膜与膜之间的应⼒ UUah5$Iy
改善思路:膜外⽩雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,⼀是把膜做的致密 YW7W6mWspS
光滑些不容易吸附,⼆是改善环境减少吸附的对象。 #z\ub5um
改善对策: dzf2`@8#
㈠ 改善膜系,外层加⼆氧化硅,使膜表⾯光滑,不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境(⼲燥、清 B,%Vy!o
洁) "-J5!y*,Y
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应⼒。 RB 5SK#z
㈢ 改善充氧(加⼤),改善膜结构。 sV\_DP/l
㈣ 适当降低蒸发速率,改善柱状结构 oBzl=N3<
㈤ 离⼦辅助镀膜,改善膜结构 "y1Iu
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀(其功能是及时带⾛⽔汽) j4.wd
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㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 wP!X)p\
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 oQ!M+sRmF
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 %TB(E<p`
膜内⽩雾 IhnBp 6p9
⽩雾形成在膜内,⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 (]|h6aI'}
可能的成因: 8Zv``t61
① 基⽚脏,附着前⼯程的残留物 RBX<>*
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 ([>ecS@eO
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 Vwkvu&4
④ 氧化物充氧不够。 swKkY`g
⑤ 基⽚进罩前(洗净后)受潮⽓污染 rQ;w{8J\t
⑥ 洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹 @<.@X*#I
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 vQAFg G
⑧ 环境湿度⼤ &V"oJ}M/a
改善思路:基⽚本⾝的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 _Nx
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问题。 V%Uj\cv
改善对策: jr6_|(0
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㈠改进膜系,第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 VYvfx
㈡尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 A1WUK=P
㈢真空室在更换护板、清洁后,最好能空罩抽真空烘烤⼀下,更换的护板等真空室部件必须⼲ c}(WniR-"
燥、⼲净。 Lb*KEF% s
㈣改善环境 e8m,q~%#/
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚,免受污染。 Ndmt$(b
㈥改善洗净、擦拭效果。 !Ok(mgV$/
㈦改善膜匹配(考虑第⼀层⽤Al2O3) )*')
㈧改善膜充氧和蒸发速率(降低) JF~i.+{h
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 Up9{aX
㈩抛光加⼯完成的光⾯,必须⽴即清洁⼲净,不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。