光栅式
传感器指采用光栅叠栅条纹
原理测量位移的传感器。光栅是由大量等宽等间距的平行狭缝构成的
光学器件。
0C6-GKbZ [>%xd)8.c 一般常用的光栅是在
玻璃片上刻出大量平行刻痕制成,刻痕为不透光部分,两刻痕之间的光滑部分可以透光,相当于一狭缝。精制的光栅,在1cm宽度内刻有几千条乃至上万条刻痕。
A/KJqiag !~D}/Q;#}\ r^a7MHY1 这种利用透射光
衍射的光栅称为透射光栅,还有利用两刻痕间的反射光衍射的光栅,如在镀有金属层的表面上刻出许多平行刻痕,两刻痕间的光滑金属面可以反射光,这种光栅成为反射光栅。由光栅形成的叠栅条纹具有光学放大作用和误差平均效应,因而能提高测量
精度。
doy`C)xI l6 H|PR{ |NC*7/} 光栅传感器由标尺光栅、指示光栅、光路
系统和测量系统四部分组成。标尺光栅相对于指示光栅移动时,便形成大致按正弦规律分布的明暗相间的叠栅条纹。
mFaZio0GK QKN+>X 这些条纹以光栅的相对运动速度移动,并直接照射到
光电元件上,在它们的输出端得到一串电脉冲,通过放大、整形、辨向和计数系统产生数字信号输出,直接显示被测的位移量。