光栅式
传感器指采用光栅叠栅条纹
原理测量位移的传感器。光栅是由大量等宽等间距的平行狭缝构成的
光学器件。
eKy!Pai 4 ob?M:S 一般常用的光栅是在
玻璃片上刻出大量平行刻痕制成，刻痕为不透光部分，两刻痕之间的光滑部分可以透光，相当于一狭缝。精制的光栅，在1cm宽度内刻有几千条乃至上万条刻痕。
I eJI-lo o">~Ob R 0zA;%oP 这种利用透射光
衍射的光栅称为透射光栅，还有利用两刻痕间的反射光衍射的光栅，如在镀有金属层的表面上刻出许多平行刻痕，两刻痕间的光滑金属面可以反射光，这种光栅成为反射光栅。由光栅形成的叠栅条纹具有光学放大作用和误差平均效应，因而能提高测量
精度。
eAo+w*D( SswcO9JCX3 4pl\qf 光栅传感器由标尺光栅、指示光栅、光路
系统和测量系统四部分组成。标尺光栅相对于指示光栅移动时，便形成大致按正弦规律分布的明暗相间的叠栅条纹。
Y6&v&dA; KJV8y"^=Q 这些条纹以光栅的相对运动速度移动，并直接照射到
光电元件上，在它们的输出端得到一串电脉冲，通过放大、整形、辨向和计数系统产生数字信号输出，直接显示被测的位移量。
