先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 u{OS6Ky
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 eq@am(#&kY
算出来的折射率再用来做设计。 @)W(q5)}9"
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 i}/e}s<-6
e-CNQnO~
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 V>b2b5QAH,
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 W_[|X}lWP
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 ~ON1Zw[+
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 X q}Ucpj
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 &a%WM